脉冲激光共沉积系统
双面斜对称扫描溅射脉冲激光共沉积系统
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基于高通量技术快速优化生长工艺和应用参量,研究YBCO薄膜的高频响应机制

为基于高温超导的全超导化数字接收机打下坚实的超导芯基础

完成大面积激光镀膜设备向科学仪器生产转移(2英寸双面单晶膜、批量化)

 

冯中沛
双面斜对称扫描溅射脉冲激光共沉积系统

首创的沉积溅射方案、超越德国 ceraco 公司的可行途径!

 


双面辐照加热,保证“沉积温度”时间与空间的一致性;
上、下两个表面同时沉积薄膜,保证双面膜性能的一致性;
超大沉积面积、可实现多片膜批量化制备,提高效率保证性能一致性;

 

首个“纯国产” 核心技术的“PLD 工厂”

 

 

基于高通量技术快速优化生长工艺和应用参量,研究YBCO薄膜的高频响应机制

为基于高温超导的全超导化数字接收机打下坚实的超导芯基础

完成大面积激光镀膜设备向科学仪器生产转移(2英寸双面单晶膜、批量化)

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