启用国产小型固态脉冲激光器，光路系统模块化整体位移，实现多光束共沉积，自研制大面积加热器，开发控制软件，实现智能操作
使用扫描电子显微镜分析薄膜微观形貌；使用能谱仪分析元素组成；使用X射线衍射分析薄膜微观结构；使用Jc-scan临界电流密度测试系统测试薄膜临界电流密度；使用蓝宝石介质谐振腔测试薄膜微波表面电阻。
极限真空：优于5x10-8 Torr ；可容纳8个2英寸共焦溅射原位偏转靶，3个2英寸中心法兰溅射靶；
