采用冷压技术,使用高吨位的压片机压制靶材。热压技术,使用 850°C,70MPa的条件压制。后续还将进行熔融织构靶材的制备,来满足各种实验的需要。
启用国产小型固态脉冲激光器,光路系统模块化整体位移,实现多光束共沉积,自研制大面积加热器,开发控制软件,实现智能操作
使用扫描电子显微镜分析薄膜微观形貌;使用能谱仪分析元素组成;使用X射线衍射分析薄膜微观结构;使用Jc-scan临界电流密度测试系统测试薄膜临界电流密度;使用蓝宝石介质谐振腔测试薄膜微波表面电阻。
极限真空:优于5x10-8 Torr ;可容纳8个2英寸共焦溅射原位偏转靶,3个2英寸中心法兰溅射靶;
磁共振射频接收线圈是磁共振成像系统接收来自被测源信号的装置;冷冻射频线圈是利用低温液体/气体来冷却射频线圈中的元器件来提高信噪比,超导薄膜射频线圈引入超导薄膜材料提高性能