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溅射靶材
发布日期 :2022-01-11 浏览次数: 1001

 

背景介绍: 随着超导薄膜应用研究的深人,小面积膜逐步向大面积膜发展,对靶材的要求也越来越严格。大面积薄膜不仅对靶材的成分、纯度、均匀性等方面的要求更高,而且要求靶的体积更大,形状更复杂,必须采用新的制备工艺才能满足上述要求。

目前的制备方案:采用冷压技术,使用高吨位的压片机压制靶材。热压技术,使用 850°C,70MPa的条件压制。后续还将进行熔融织构靶材的制备,来满足各种实验的需要。

简单制备流程:如上图所示,首先按照1:2:3的比例将YBCO的粉末配好,然后通过多次的烧结和球磨,将粉末的纯度提高,最后将粉末压制成靶材。因不同的实验需要,后续还将打磨靶材或者线切割。

下图为打磨后的YBCO靶材粉末XRD图,经过多次的XRD粉末衍射测试,我们目前制备的靶材,纯度都比较高。

 

 

优势:

1、实验仪器齐全;拥有300吨位的压片机、球磨机、鄂氏破碎机、线切割机等

2、粉末经过4次以上烧结、球磨;纯度都比较好,颗粒度大约在500~800目之间

3、烧结好靶材致密度~92%

 

Boubeche Mebrouka
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