背景介绍： 随着超导薄膜应用研究的深人，小面积膜逐步向大面积膜发展，对靶材的要求也越来越严格。大面积薄膜不仅对靶材的成分、纯度、均匀性等方面的要求更高，而且要求靶的体积更大，形状更复杂，必须采用新的制备工艺才能满足上述要求。

目前的制备方案：采用冷压技术，使用高吨位的压片机压制靶材。热压技术，使用 850°C,70MPa的条件压制。后续还将进行熔融织构靶材的制备，来满足各种实验的需要。

简单制备流程：如上图所示，首先按照1：2：3的比例将YBCO的粉末配好，然后通过多次的烧结和球磨，将粉末的纯度提高，最后将粉末压制成靶材。因不同的实验需要，后续还将打磨靶材或者线切割。

下图为打磨后的YBCO靶材粉末XRD图，经过多次的XRD粉末衍射测试，我们目前制备的靶材，纯度都比较高。

优势:

1、实验仪器齐全；拥有300吨位的压片机、球磨机、鄂氏破碎机、线切割机等

2、粉末经过4次以上烧结、球磨；纯度都比较好，颗粒度大约在500~800目之间

3、烧结好靶材致密度~92%