2英寸 单面 LaAlO3衬底 YBa2Cu3O7-x薄膜性能表征
制备方法:三光束脉冲激光共沉积系统(3B-PLD)
Jc分布均匀
膜厚分布<±0.5%
R-T测试:Tc0 > 92 K,分布均匀且稳定可重复