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金属有机物化学气相沉积(MOCVD)
发布日期 :2022-01-11 浏览次数: 873

 

工作原理:将金属有机前驱体以合适的比例配制成溶液,通过蠕动泵输送到闪蒸室,有机溶液在闪蒸室入口处雾化,随即被高温瞬间蒸发,变为气态形式输送到基片表面,在一定的反应温度下,与反应气体发生化学反应,从而在基片表面生长形成相应的金属化合物薄膜。

设备优势:

1.双面同时沉积,以超导面作为接地面的超导滤波器件比传统超导滤波器件插入损耗低30%以上。

2.制备效率高,可一次制备8片2-3英寸双面YBCO薄膜,制备一片500nm厚的双面YBCO薄膜平均只需16min。

3.成本低,MOCVD制备的YBCO薄膜原料成本仅为45元,完全满足商业化生产的要求。

测试手段:使用扫描电子显微镜分析薄膜微观形貌;使用能谱仪分析元素组成;使用X射线衍射分析薄膜微观结构;使用Jc-scan临界电流密度测试系统测试薄膜临界电流密度;使用蓝宝石介质谐振腔测试薄膜微波表面电阻。

测试性能:

1.Y、Ba、Cu元素含量对临界电流密度及微波表面电阻的影响

 

2.   2inch薄膜临界电流密度2.4MA以上,微波表面电阻0.5mΩ以下

 

3.表面形貌测试

 

4.样品照片

 

夏钰东
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