SrTiO₃ 标准参考样品
参数指标
产品应用
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2英寸 单面 LaAlO3衬底 SrTiO3薄膜性能表征
制备方法：三光束脉冲激光共沉积系统
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SrTiO3 (STO) Film on LaAlO3 substrate |
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Surface Roughness |
0.366 nm (RMS) |
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FWHM |
0.069° |
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Distribution |
Thickness ±0.9% Lattice Constant ±0.08% |
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Growth Speed |
6.7 nm/min |
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表面形貌
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AFM
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膜厚分布
XRD
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